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올해 5대,스포츠토토 구매제한내년 20대 생산 목표
美 통제에도 반도체 소부장 자립 ASML 엔지니어들이 반도체 노광장비를 다루고 있는 모습.ASML 제공 
중국 업체가 반도체 회로선을 그리는 핵심 장비인 심자외선(DUV) 노광장비 양산을 시작했다는 보도가 나오자 네덜란드 ASML을 비롯한 글로벌 반도체 장비주가 일제히 급락했다.
이 장비로 초미세공정을 구현하기는 쉽지 않지만 그래도 네덜란드 ASML 등 소수 업체들이 과점하는 기술 난이도가 높은 시장에 도전장을 내밀었다는 데에 의미가 있다.
중국은 내년까지 반도체 소재·부품·장비 국산화율 70% 달성을 목표로 천문학적인 자금을 쏟아붓고 있다.
블룸버그 통신은 27일(현지시간) 상하이에 본사를 둔 국영기업이 액침 DUV 노광장비 생산을 시작했으며 반도체 장비 스타트업 위량성(宇量昇) 등 다른 중국 기업에서 연구개발 인력을 끌어모았다고 IT매체 디 인포메이션을 인용해 보도했다.
이 보도에 이날 ASML 주가가 8.4% 급락했고,ASM인터내셔널(-7.3%),스포츠토토 구매제한BE세미컨덕터(-9.9%),어플라이드머티어리얼즈(-6.7%),램리서치(-7.9%) 등 유럽·미국 반도체 장비주도 동반 하락했다.
디인포메이션에 따르면 이 회사는 올해 DUV 장비 5대,스포츠토토 구매제한내년에는 20대 생산을 목표로 하고 있으며 아직 초기 단계다.
올해 생산되는 장비는 중신궈지(SMIC)·화훙반도체·창신메모리(CXMT) 등 중국 반도체 제조사에 인도될 예정이라고 중국 매체 신랑재경이 전했다.
ASML은 지난해에만 액침 DUV 장비 131대를 납품한 만큼 중국의 자체 생산 규모는 아직 미미한 수준이다.
이번 보도는 미국의 대중 수출 통제에도 중국이 반도체 자립을 향해 진전을 보이고 있다는 신호로 받아들여진다.
ASML은 도널드 트럼프 미국 정부의 수출 통제 등으로 인해 최첨단 극자외선(EUV) 노광장비의 대중 수출을 못 하고 있다.최상급 액침 DUV 장비 판매도 제한돼,중국에 공급하는 장비는 최신 모델보다 8세대 뒤처진 제품이다.
그럼에도 중국은 지난 2분기 ASML의 세 번째로 큰 시장이었으며 ASML은 최근 일부 저가형 DUV 제품군 가격을 중국 고객사 대상으로 약 10% 인상하는 데 합의를 받아낸 것으로 전해졌다
이 국영기업의 실체로 추정되는 위량성 역시 2024년 12월 미국 상무부에 의해 수출통제 대상 기업 목록에 추가돼 있다.
중국산 DUV는 성능과 제조 품질 면에서 여전히 ASML 제품에 뒤처지며,스포츠토토 구매제한부품 대부분이 국산이지만 일부 핵심 부품은 일본산에 의존하고 현지 부품업체의 공급 지연으로 올해 생산 속도가 다소 늦춰지고 있는 것으로 전해졌다.
중국은 자국산 극자외선(EUV) 장비도 개발중이며 아직 시제품 단계로,실제 가동까지는 수년이 더 걸릴 전망이라고 신랑재경은 덧붙였다.
